荏原は17日、韓国に半導体製造に使うドライ真空ポンプのオーバーホール工場を新設すると発表した。敷地面積は約1万3000平方メートルで投資額は非公表。同様の拠点は韓国内で2カ所目となり、現地で高まる半導体工場向けのサービス需要に対応する。
韓国西部の京畿道平沢市で10月末に着工した。2027年1月の稼働を目指す。荏原は1997年から同市内でオーバーホール工場を1カ所稼働していた。生成AI（人工知能）関連の需要などが高まっていることから拠点を追加することにした。
ドライ真空ポンプは半導体製造装置の内部に真空状態をつくる。シリコン基板を加工する際に不純物を混入させない役割を担う。新工場ではポンプを分解して洗浄したり部品交換したりして性能を担保する。
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