堀場製作所は半導体製造装置に使う圧力測定装器を17日に発売する。半導体ウエハーを処理する反応室「チャンバー」内の圧力を測り、真空状態の維持につなげる。圧力の変化を検知してから測定値に反映するまでの応答時間を従来より4倍早くした。半導体製造装置向けの需要を取り込み、2027年までの累計で850台の販売を目指す。
発売するのは半導体製造装置で真空状態の測定に使う「VG-500S」。センサー部分の温度が100〜200度でも使用できる。希望販売価格は税別65万円。ウエハーに膜を張る成膜や回路を形成するエッチングの工程を担うチャンバー内では、真空状態を維持する必要がある。圧力測定機でチャンバー内の環境を高精度に測定することで、製品の歩留まり（良品率）の向上につなげる。
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