島津製作所、ガス・液体漏れ6秒以内に測定　検査装置の新製品

島津製作所は1日、ガスや液体漏れの検知装置「リークディテクター」の新製品を発売した。8年ぶりの改良で、真空部品や配管などに分子レベルの微細な漏れがないかを検査できる。販売価格は220万円からで、半導体製造装置や自動車、医療機器の部品メーカーを中心に1年で600台の販売を目指す。

開発したのは「MSE-2600シリーズ」。分子サイズが小さいヘリウムガスを、試験対象に注入したり外側から吹き付けたりすることで、表面にヘリウムが通り抜けられる穴がないかを確かめられる。ポンプを改良したことでヘリウムガスを検出装置へ吸い込む速度が従来の1.7倍に向上し、検査時間を10秒から6秒以内に短縮した。

漏れを検出できる距離も40倍に広がった。従来は検出装置と部品の距離を1ミリまで近づけないと漏れを検出できなかった。ヘリウムガスの代わりに、比較的価格の安い水素を使った検査もできる。