
大阪有機化学工業は22日、半導体の回路を形成する際、基板に塗布する「レジスト」の材料を増産すると発表した。約100億円を投じ、2028年までに酒田工場(山形県遊佐町)に新たな生産設備を導入する。生成AI(人工知能)の普及で半導体の先端品の材料への需要増に対応する。
新設備の生産規模は明らかにしていない。同社は汎用品から先端品まで幅広く使われるArF(フッ化アルゴン)レジストの材料で世界シェアの7割を握る。最先端品に使われるEUV(極端紫外線)レジストの材料も増産する。
レジスト材料は金沢工場(石川県白山市)で製造してきた。酒田工場でも生産を開始し、事業継続計画(BCP)の強化にもつなげると説明する。
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