ニコンは先端半導体の製造向けの計測装置の新製品を2026年後半に発売すると発表した。半導体ウエハーを積層する際にずれが生じないように、わずかなゆがみを計測する。半導体業界ではウエハーを縦方向に積み上げる「3次元化」で性能を高める技術革新が進んでおり、計測装置の分野でも新たな需要が生まれている。
新製品「リソブースター1000」を発売する。2018年に発売した前機種に比べて測定の精度を高めた。ウエハー上に微細な回路を描く「露光工程」の前に計測する。ウエハーのわずかなひずみを計測して露光装置にフィードバックすることで、半導体を積み重ねた際にずれが生じにくくなるという。
ニコン以外の露光装置と組み合わせて使うこともできる。半導体業界ではロジック半導体やNAND型フラッシュメモリーなどの分野で、垂直方向に積み上げる3次元化が進んでいる。新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）から受託開発した。
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