トヨタ自動車系のジェイテクトは3日、中国で半導体製造向けベアリングの生産を2026年1月に始めると発表した。半導体製造の工程で使われるドライポンプ向けで、現地メーカーなどに供給する。これまでは国内から輸出していたが、納期短縮や価格競争力を武器に成長分野での事業拡大を目指す。
ドライポンプは液体を使わずに空気を利用して真空状態を作り出す装置だ。半導体ウエハーに回路を形成するエッチングや、ウエハーに薄い膜を形成する成膜工程などで使われる。
一般的な半導体生産ラインでは、数千台規模のドライポンプが使用され、1台あたり4個程度のベアリングが組み込まれるという。ジェイテクトは低騒音、低振動かつ耐久性の高いベアリングを売りにしている。
ジェイテクトは現在、徳島工場（徳島県藍住町）とグループ会社でドライポンプ向けベアリングを生産しており、国内外のメーカーに納入している。今後、中国でベアリング製品などを手掛ける現地工場でも生産し、海外での取引拡大を狙う。
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