半導体製造装置部品のフェローテックは11日、装置や機器の熱問題を解決するための研究施設を横浜市に開設したと発表した。半導体製造装置や医療、自動車分野などの顧客を招き、相談や検証を共同で手掛ける場にする。顧客の開発段階から提案し、熱対策に使う部品の販売拡大を狙う。
「サーマルソリューションCSセンター」を開設した。強みとする熱対策部品「サーモモジュール」はセラミックと半導体で構成され、機器の冷却など熱制御に使う。複雑な熱制御が必要な半導体製造装置や医療機器などへの搭載が今後増えるとみる。
広さ約100平方メートルの部屋に、熱対策部品の展示や試作、信頼性検査をする装置などをそろえた。熱対策部品は装置や用途に応じて様々な仕様が必要になる。顧客の開発の初期段階から参画して技術提案や試作をすることで、製品化を支援する。
フェローテックはこれまで部品の単体販売だけでなく、熱制御に関する製品設計や試作、量産を一貫で提案できる体制を整えてきた。施設開設で顧客との接点を増やし、相談件数は年間で100件を目指す。
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